半導体生産ライン向け生産管理システム

自動化が難しい半導体製造マニュアルライン内の情報統合を図ります。

半導体生産ライン向け生産管理システムは、自動化が進んでいない、または自動化が難しい半導体製造ライン(以下マニュアルライン)内の情報統合、あるいは生産部門、管理部門、設計部門との連携を図ることでマニュアルライン運営上の各種悩み解決に繋げ、納期遵守、コスト低減、品質向上を徹底支援いたします。

サービス・製品イメージ

レティクル : ウエハー上に回路パターンを転写するためのフォトマスク
ERP : Enterprise Resource Planning
SCM : Supply Chain Management

ビジネスへのメリット

01

納期遵守率向上

ダイナミックなロット優先順位付与と生産計画からのスケジュール自動生成により、納期遵守率を大幅に向上できます。

02

歩留り向上

徹底したロットIDの照合によるミスの防止とデータ統合による品質データ自動収集/解析用加工により、歩留りを向上できます。

03

装置稼働率向上

稼働状態のリアルタイム監視により、装置稼働率を向上できます。

サービス・製品の特長

多品種少量(変量)生産に対応

  • 枚葉管理、ロット管理の両方に対応できます。
  • 1キャリアに複数品種のウエハーを混載した搬送に対応できます。
  • 生産品種の増大に対して、制御条件、検査規格などのデータ容量の増加を最小限に留めることができます。

人にやさしい、優れた操作性を実現

  • ロットを選択すると、次に投入すべき装置(次工程の処理装置)がわかります。
  • 装置を指定すると、投入可能なロット(処理待ちロット)がわかります。
  • ロットの一定以上の遅れに対して警報を出し、処理開始を促します。
  • 設置型の専用端末、または、PHSなどの携帯端末のバーコードリーダーにより、ロットを自動認識します。
  • 自動認識したロットに対して、専用端末・携帯端末を使用し、作業開始報告、作業完了報告、ロット検索、優先ロットの検索といった操作が現場でできます。

実験品、開発品など、量産品以外のロット流しにも対応

  • 量産品と試作品を混在でラインに流すことができます。
  • 同一工程でウエハーごとに処理条件を設定することにより、最適な処理条件の絞込みができます。

ご要望、ご予算に応じたシステム構成が選択可能

  • Linuxを搭載したスタンドアロンのPCサーバーから2重系を構成するUNIXサーバーまで、ご要望に合ったプラットフォームを選択できます。さらに、24時間365日稼働可能なシステムまで対応できます。
  • システムを停止することなくアプリケーションプログラムや定義情報の変更を行うことが可能であり、システムの稼働率向上を実現しています。